Mình có hai câu hỏi nhờ các bạn giải đáp giúp:
1. Có thể phún xạ hai loại vật liệu khác nhau trong cùng một máy không? ( VD như kim loại và oxit ). Liệu sau khi phún xạ oxit rồi phún xạ lại kim loại thì lớp màng kim loại có bị ô nhiễm không?
2. Buồng chân không sau khi phún xạ, vật liệu phún xạ bám đầy trên tường buồng. Có cách nào tẩy sạch chúng không? Nếu không tẩy sạch thì khi phún xạ một loại vật liệu khác thì những vết bẩn này có gây ô nhiễm lớp màng vật liệu mới phún không?
|