Tên đầy đủ của phương pháp là sputtering, tiếng Việt dịch là phún xạ magnetron. Phương pháp này đã được sử dụng từ lâu tại Khoa Vật lý ĐHKHTN. Đây là một phương pháp cao cấp (độ mỏng của màng còn tùy vào thiết bi), tất nhiên là thua xa epitaxi. Bạn kiếm sách bên ngành Vật lý chất rắn hay ở Bộ môn vật lý ứng dụng, khoa Vật lý ấy, nhiều lắm. Nếu ở Sài gòn thì hỏi thầy Trần Cao Vinh.
|